技术编号:36333553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种谐振式压力传感器及其制备方法。背景技术.压力传感器在航空航天、智能制造、汽车电子等领域中扮演着重要角色,其用于准确测量气体或液体中的压力参数。如在汽车电子领域,压力传感器在汽车工程中起到至关重要的作用,特别是在汽车胎压监测系统(tire pressure monitoring system, tpms)中的应用。.传统电容式压力传感器通过检测压缩或拉伸电容膜片引起形变所产生的电信号来测量外界压力,但膜片在长期压缩和拉伸的情况下难以延长使用寿命。微...
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