技术编号:36350304
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及密度测量的领域,尤其是涉及一种自动化密度测量装置。背景技术.靶材是通过磁控溅射、或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单来说,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。.在相关技术中,靶材的密度采用阿基米德排水法进行测量。测量装置包括电子台秤、水槽、称量板和铰接板。水槽放置于电子台秤上且水槽内装有水,称量板吊接于水槽内。铰接板一侧铰接于水槽开口的一侧,另一侧抵接于水槽开口的另一侧上。.测量靶材密度时,首先将靶材放置于铰接板上并通过电子台秤进行第...
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