技术编号:3635477
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,所述高纯度氧双邻苯二甲酸酐适合作为半导体制造领域中的高精细感光性聚酰亚胺的单体。背景技术 氧双邻苯二甲酸酐(在下文中有时简称为ODPA)是赋予高耐热性聚酰亚胺透明性和热塑性的单体。因此,ODPA可用作透明聚酰亚胺薄膜、电子材料和半导体相关用途的聚酰亚胺的原料。作为有利于工业制造ODPA的方法,已知有在亚硝酸(亚硝酸盐)的存在下,将硝基邻苯二甲酸(硝基邻苯二甲酸酐)偶合的方法(参见专利文献1);通过将带取代基或无取代基的邻苯二甲酰亚胺与化学计量的...
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