技术编号：36368956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及团簇束技术领域，尤其涉及一种用于团簇束流源电中和装置。背景技术.团簇束是以大体一致的速度沿着同一方向运动的团簇粒子流，团簇是原子、分子或离子团簇的总称。.近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。其中，束流所产生的电荷无法中和，对后续的需求易产生不利的...
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