一种基于电容器边缘场效应的接近传感器及其设计方法技术资料下载

技术编号:36379761

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.本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种基于电容器边缘场效应的接近传感器及其设计方法。背景技术.电容传感器是以电容器作为传感元件,将被测物理量或机械量转换为电容量变化的一种转换装置,具有结构简单、重量轻、能耗低等优点,被广泛应用于测量位移、角度、振动、速度、压力等领域。.接近感测,无需直接接触检测对象,就能将检测对象的移动信息和存在信息转化为电学响应。接近感测,作为压力感测的一种互补功能,可以扩展普通单功能触觉传感器的检测模式,实现对接近对象精确位置的识别与快速响应。而基于电容测量的接近传...
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