技术编号:36379761
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种基于电容器边缘场效应的接近传感器及其设计方法。背景技术.电容传感器是以电容器作为传感元件,将被测物理量或机械量转换为电容量变化的一种转换装置,具有结构简单、重量轻、能耗低等优点,被广泛应用于测量位移、角度、振动、速度、压力等领域。.接近感测,无需直接接触检测对象,就能将检测对象的移动信息和存在信息转化为电学响应。接近感测,作为压力感测的一种互补功能,可以扩展普通单功能触觉传感器的检测模式,实现对接近对象精确位置的识别与快速响应。而基于电容测量的接近传...
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