技术编号:36409233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及电化学领域,尤其是利用等离子体火焰的有毒气体处理方法。背景技术.有毒气体处理器广泛应用于泛半导体行业(半导体、面板、太阳能、led)的生产工艺,包括cvd、diffusion、etching和ion implantation等,可安全有效处理氟化物、氯化物、氢化物气体和一般有害气体。.现有技术过程繁琐,消耗电能较大,由等离子体处理有毒气体的方法中,依靠通电耦合效果,进行由单个进气口进入的不同有毒气体的处理,通过电离作用将有毒气体分子击穿,形成正负离子、电子、中性粒子等微小粒子,...
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