一种碳化硅肖特基二极管结构的制作方法技术资料下载

技术编号:36432769

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.本实用新型涉及半导体器件领域,特别是一种碳化硅肖特基二极管结构。背景技术.第三代半导体碳化硅(sic)材料具有比传统的硅(si)材料优异的物理和电学特性。例如sic具有禁带宽、热导率高、击穿场强高、饱和电子漂移速率高等特点,同时还兼具有极好的物理及化学稳定性、极强的抗辐照能力和机械强度等。因此,基于宽禁带sic材料的电子器件可用于高温、大功率、高频、高辐射等电力电子领域。.结势垒型肖特基二极管(jbs)将pn结集成在肖特基结构中,能够有效地保证低肖特基势垒的优良正向导通特性,同时在反向阻...
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