技术编号:36543984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置相关技术领域,具体涉及一种卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置。背景技术.卷对卷磁控溅射真空镀膜机的辅助阳极装置是一种用于辅助阳极电流传输和控制的装置,在卷对卷磁控溅射真空镀膜机中,阳极是一个重要的部件,它通过电流传输来控制溅射过程中的离子轰击和电子释放,辅助阳极装置则可以帮助阳极更好地发挥作用,辅助阳极装置通常由多个电极组成,这些电极可以分别与阳极相连,形成一个电路,辅助阳极装置的主要作用是增强阳极电流的传输和控制,从而提高溅射过程的...
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