技术编号:36570320
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及磁悬浮泵永磁转子位置检测结构。背景技术.磁悬浮泵是一种广泛应用于高端半导体湿法设备、精细化工及生物制药中的化学液泵,具备耐化学腐蚀、不产生颗粒污染物、结构紧凑、压力流量调节范围大且稳定、低脉动、高可靠性等特性。磁悬浮泵基于磁悬浮原理对叶轮转子进行支撑约束,可被完全无接触地密封在一个超洁净的封闭腔体内。要实现磁悬浮泵中永磁转子的稳定悬浮与高速旋转的前提是能够对密封在泵壳内的永磁转子进行高精度的非接触式实时测量。而基于差分原理的电涡流线圈对检测方法是目前解决永磁转子位置非接触高精...
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