技术编号:3660974
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种聚氨酯树脂组合物及聚氨酯支撑垫片,更具体地涉及能够提供一种在内部均匀地包含长而大的气孔,显示高压缩率及压缩恢复率,并用于半导体装置或者显示器装置所使用的基板或者玻璃等的研磨工艺中,从而能够将表面缺陷及粗糙度、波纹度最小化的支撑垫片的聚氨酯树脂组合物和由这种组合物获得的聚氨酯支撑垫片。背景技术要求高集成度的半导体 装置或者显示器装置所使用的基板,由于需要微小而精密的表面,因此适用多种平坦化的方法。尤其,随着半导体元件或者显示器装置的高集成化及高...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。