技术编号：36616377
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造工艺领域，尤其涉及一种半导体铁镍合金减薄蚀刻液、其制备方法及用途。背景技术、近些年，由于半导体和显示面板等行业的迅猛发展，对电子化学品不仅具有量的旺盛需求，而且对质的要求也越来越高。蚀刻技术作为半导体、显示面板等必不可少的工艺环节，也在不断地发展进步。其中，湿法刻蚀作为最有效、最稳定和最广泛的蚀刻技术在行业长期应用。、金属铁具有优异的有良好的延展性、导电、导热性能，有很强的铁磁性，属于磁性材料。三氯化铁蚀刻液在印制电路、电子和金属精饰等领域中被广泛采用，一般用来蚀刻铜、铜...
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