技术编号:3663016
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种废水处理装置,具体涉及一种多晶硅废水处理装置,属于废水回收利用领域。背景技术硅单质作为重要的光电材料、半导体材料,其战略资源的地位日益明显,其全球需求量亦不断增大。在光电、半导体产业中,需要将单质硅体切割成符合要求的硅片,目前多晶硅主要是采用多线切割技术,在切割过程中约50%的硅料混进由聚乙二醇(PEG)切削液和碳化硅粉(SiC)磨料组成的切削液中,使得切削液中微粉的组成、粒径、硬度均不满足标准,造成切削性能下降,不能重复利用,因此在切割...
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