技术编号：36640922
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基于阵列分布信息引导的晶圆晶粒检测方法，属于数字图像处理。背景技术、晶圆作为高精密电子产品，对生产质量把控十分严格，在晶圆生产的不同工艺流程之间会产生各种缺陷，需要及时对晶粒进行电气测试和外观检查。在晶圆缺陷检测之前需要对晶粒进行测试分选工作，不仅可以有效指导晶圆检测流程，提升检测的速度，节约检测成本，还可以帮助工程师跟踪生产，提升良品率。晶圆图像具有以下个特点：、晶圆呈现的结构十分复杂且表面形貌多样；、晶粒阵列化密集排布；、晶圆图像分辨率高但晶粒很小。这些特点严重影响晶粒检...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。