技术编号：36705498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体，特别是体声波谐振器、体声波谐振器的制备方法以及滤波器。背景技术、现如今，随着高数据传输速率和更大通信带宽的需求的不断增长，极大地推动了射频前端技术的发展。而基于压电谐振器的声学滤波器在射频前端模块中发挥着重要的作用，因此对其提出了更高的频率，更大的带宽和更小的带内插损等要求。、当前，基于铌酸锂的横向激励体声波谐振器已成为提供更高频率和更大带宽射频滤波器的有前途的解决方案。针对横向激励体声波谐振器的工艺制程，现阶段比较常用的制备工艺路线主要有两种：、正面释放；、背腔刻蚀。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。