一种减少耦合损耗的硅光芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:36727093

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本发明涉及一种硅光芯片,尤其设计一种能够减少与光纤耦合损耗的硅光芯片背景技术、硅基光电子芯片能够利用集成电路的工艺技术进行制造,从而实现高度集成和大规模生产。它具有面积小重量轻、功耗低等优点,可以用于制作电光调制器、光电探测器、可调光衰减器、光开关、光滤波器等功能器件,适用于数据通信、传输、激光雷达测距、生化传感等领域。随着技术的不断发展,硅光芯片的性能和应用领域不断扩展,在现代通信领域起着越来越重要的作用。、硅光芯片在使用的时候需要和光纤进行耦合。然而由于二者尺寸差距较大,因此在耦合的时候...
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