技术编号:36727324
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学仪器领域,具体涉及一种基于复合光路的液膜厚度测量仪及其测量方法。背景技术、现有的液膜厚度测量方法通常为直接接触方法,包括使用物理接触技术,使用探针或传感器,以测量液膜的厚度。这些方法可能会导致液膜污染、损伤或干扰,尤其是在对液膜敏感性要求很高的情况下。、且现有的液膜厚度测量方法使用传统的光学技术,使用干涉仪或反射光谱仪,以分析光波与液膜的相互作用。这些方法易受到入射光角度、光路长度和复杂的液膜性质的影响,导致测量不稳定或不准确。技术实现思路、本发明提供一种基于复合光路的液膜厚...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。