技术编号：36786559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏晶硅太阳能电池，尤其涉及一种用于topcon电池制作的丝网印刷及烧结方法及装置。背景技术、钝化接触太阳能电池(tunnel oxide passivated contact solar cell，topcon)是一种新型太阳能电池，该电池首先在电池的背表面制备一层隧穿氧化层，然后再沉积一层掺杂多晶硅层，二者共同形成了钝化接触结构，从而为硅片的背表面提供了良好的界面钝化。钝化接触太阳能电池的掺杂多晶硅层与硅基底表面间的隧穿氧化层对钝化效果起着非常关键的作用，隧穿氧化层通过化学钝化降...
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