技术编号:36806836
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于振动设备状态检测领域,具体而言,涉及一种振动测量仪的补偿方法、振动测量仪。背景技术、mems加速度传感器为采用微机电系统(micro-electro-mechanical systems,简称mems)技术制造的加速度传感器。该技术将机械系统和电子电路使用硅半导体加工工艺集成在极小的尺寸内,机械系统将振动信号转化为电信号,电子电路完成电信号的采集和处理,两者形成一个协作系统,实现振动信号的智能检测和分析。但目前使用mems加速度传感器的测振仪在测试振动信号时得到的值不够准确。技术实现...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。