技术编号:36812398
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体运输,尤其涉及一种基于半导体物流设备数据采集控制方法。背景技术、随着半导体行业的飞速发展,在半导体制造技术高度发达的今天,自动化物料搬运已经成为全球半导体行业的主流作业态势。由于工厂整体自动化会涉及多个生产设备,多个物流设备具备多套协议定义。、在半导体制造业中,目前国内外的设备自动化联网通讯协议均基于国际半导体设备与材料协会(semi)制定的连接性标准secs/gem协议,但是每种设备的系统都要客制化,做到兼容多种设备要造成很大的开发成本和运维成本,并且开发周期长、实施成本和...
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