技术编号：36812785
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及晶圆传输设备，尤其是涉及一种传输机构及传输装置。背景技术、现有技术中，已经出现了相应的晶圆传输设备。晶圆传输设备诸如晶圆传输机械手，在传输晶圆时，针对晶圆在传输中的直线运动与旋转运动，运动精度和稳定性仍然有进一步的改进空间。技术实现思路、有鉴于此，本申请提供一种传输机构及传输装置，目的在于，一定程度上解决以上技术问题。、第一方面，本申请提供一种传输机构，所述传输机构包括：、第一主动轮和第一从动轮，所述第一主动轮和所述第一从动轮传动连接；、第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。