技术编号:36836315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微通道窗片真空紫外灯,利用氦、氖、氩、氪、氙等惰性气体射频放电可输出.至. nm的真空紫外光,可作为分析仪器、基础科研、生物化工和电子制造等领域使用的真空紫外光源,属于电子。背景技术、真空紫外灯是可以发射小于 nm波长真空紫外光的装置,在分析仪器、基础科研、生物化工和电子制造等领域有着广泛应用。真空紫外灯一般利用直流放电、射频感应放电、微波放电和脉冲放电等方式激发气体放电产生等离子体,再通过等离子体中电子碰撞激发中性气体原子,产生激发态原子或准分子,激发态原子...
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