技术编号:3686239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种含N-苯基马来酰亚胺光敏丙烯酸树脂的合成及其在负性光致抗蚀剂上的应用,属于紫外光固化。本发明通过两步法合成一种碱溶性光敏丙烯酸树脂,反应单体N-苯基马来酰亚胺在碱性条件下发生开环反应,增加了聚合物的碱溶性;聚合物中引入碳碳双键,提高了聚合物的光敏性。本发明反应条件易于控制,所用单体结构简单,聚合物性能优异,在负性光致抗蚀剂的应用中性能良好。所得聚合物结构如下所示,其中R1-R4独立的为H或CH3,R5为C1-C4的烷基,R6为苄基、环己基、异冰片基。专...
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