技术编号：36866232
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及传感，具体涉及可用于对精密制造中的工件台进行零位定位的零位传感器及调节方法。背景技术、工件台是精密制造设备中的关键部件之一，它的主要功能是完成硅片的装夹、上片、下片、步进和曝光等工作。工件台的性能对精密制造设备的各项指标具有极其重要的影响，它的定位精度对光刻精度具有决定性影响，最大行程决定了光刻晶圆的最大尺寸，而运行速度则直接决定着精密制造设备的产率。为了满足对于精密制造设备性能的要求，工件台必须具备超精密六自由度位移测量系统，用以实现工件台运行过程中的位置检测和反馈。工件台的六自由...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。