技术编号:3687193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多孔聚合物薄膜的制造方法,其包括对聚合物薄膜照射由加速离子构成的离子束,从而形成经该离子束中的离子碰撞的聚合物薄膜的工序(I);对工序(I)中形成的聚合物薄膜进行化学蚀刻,从而在聚合物薄膜中形成与离子碰撞的轨迹对应的开口和/或通孔的工序(II),在工序(I)中,将聚合物薄膜配置在压力100Pa以上的气氛中,使离子束通过保持在低于上述气氛的压力的束流线以及配置于该束流线的末端的将束流线与上述气氛隔开的压力隔离片,并照射位于上述气氛中的聚合物薄膜...
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