技术编号：3688936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多环聚合物和其在照相平版印刷应用中的使用方法。本发明更具体涉及改性含官能侧基的多环聚合物和其在制造集成电路(IC)的光刻胶组合物中的用途。2．背景当今电子工业的趋势是日益需要更快且消耗较低能量的IC。为满足这些要求，IC必须是具有亚微米特征尺寸的高密度的。导线必须做得更细且排列更近。降低导线之间的间隔导致IC的效率同时提高，使储存容量更大且信息在计算机芯片上的加工速度更快。为获得更薄的线宽和更小的特征尺寸，需要更高的图形分辨率。IC的图形形成通过...
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