技术编号：36895071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于射频离子源，具体涉及一种射频离子源装置。背景技术、离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，射频离子源通过射频电离产生等离子体，再通过栅网电场加速，使正离子加速产生离子束；、经查公开(公告)号：cnu公开了一种射频离子源装置，此技术中公开了“所述射频线圈螺旋缠绕于绝缘电离罩的外壁上，且两端通过射频感抗匹配网络与射频电源相连；所述绝缘底座与绝缘电离罩底部固定；所述离子源盖板盖在绝缘电离罩上方，离子源盖板上设有盖板通孔；所述绝缘电离罩的顶部开设有离子发射...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。