技术编号:3690424
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉参考本申请要求于2003年2月21日提交的美国临时申请No.60/448,939的优选权,其题目为“使用非烯烃链转移剂的乙烯基加成多环烯烃聚合物”。背景技术发明领域本发明大体上涉及多环烯烃聚合物,具体地涉及用非烯烃链转移剂制备的多环烯烃聚合物,及这类聚合物的用途。相关技术说明为了满足更小装置尺寸半导体工业的需要以制备更快和更复杂的设备,必须对现有光刻工艺的分辨能力进行改进。进行这类改进的一个方面是使用短波长的曝光源,例如,提供波长为193nm...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。