技术编号：36957781
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及光刻机照明，具体涉及一种点光斑阵列产生装置。背景技术、在自由光瞳照明模块中，需要由一个平行光束产生阵列光束，使阵列光束照射到微反射镜阵列上，通过各个微反射镜的角度偏转、算法运算生成所需光瞳。而常规方案是采用微透镜阵列作为光束分割装置生成阵列光束，这种结构整体制作难度大，且结构一旦确定后只能产生唯一的一种阵列光束。、例如，在先技术“双层微透镜阵列光学元件”(公开号tw b)中描述了一种双层微透镜阵列光学元件，其原理是设计一面具有阵列排列的多针孔结构的基板，且该基板的两...
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