技术编号：36978509
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学机械抛光领域，具体地，涉及一种具有催化活性的复合抛光磨粒及其制备方法。背景技术、化学机械抛光过程中同时存在化学腐蚀作用和机械磨削作用。具体地，通过化学腐蚀作用，抛光液与抛光表面反应形成容易去除的软质层，然后再通过机械磨削的方式将软质层去除，从而提升抛光速率。在抛光过程中，通常需要使用氧化剂先将待抛光样品表面氧化，形成质地柔软的氧化膜，再通过磨粒的机械去除作用将氧化膜层去除。为达到较佳的抛光效果，还会添加催化剂以增强氧化过程。、然而，在目前的抛光液中，所使用的催化剂通常为离子型催...
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