技术编号:3698268
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了 一种用于抗蚀剂(resist)的聚合物(polymer)和使用其制 造的抗蚀剂组合物(composition),且更具体的说,提供了一种在制造适用于微制造 (microfabrication)的抗蚀剂中使用的新型聚合物和含有所述聚合物的抗蚀剂组合物,所 述微制造利用远红外线(far-infrared)例如KrF准分子激光器、ArF准分子激光器等和各 种辐射例如同步辐射的X射线和电子束(e-beam)的粒子束。背景技术近来,随着半导体装置的高集...
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