一种芯片成像检测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:37001712

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本发明涉及芯片外观检测,尤其涉及一种芯片成像检测装置。背景技术、芯片外观检测应用于高精度和高速场合,人工检测达不到检测精度和效率上的要求,通常采用光学自动检测设备(aoi),市面上对于光学自动检测设备提出了高精度和高速的要求。、传统的视觉检测装置中的单个远心检测镜头只能拍摄一个待检测面,若对芯片的五个面同时进行检测,需要设置多个远心检测镜头进行拍摄,时间成本高、占用空间大。若芯片检测光路中仅使用单个远心镜头,检测芯片顶部的光线与检测芯片个侧边的光线存在较大的光程差,由于采用的远心镜头景深有...
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