技术编号:37001712
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片外观检测,尤其涉及一种芯片成像检测装置。背景技术、芯片外观检测应用于高精度和高速场合,人工检测达不到检测精度和效率上的要求,通常采用光学自动检测设备(aoi),市面上对于光学自动检测设备提出了高精度和高速的要求。、传统的视觉检测装置中的单个远心检测镜头只能拍摄一个待检测面,若对芯片的五个面同时进行检测,需要设置多个远心检测镜头进行拍摄,时间成本高、占用空间大。若芯片检测光路中仅使用单个远心镜头,检测芯片顶部的光线与检测芯片个侧边的光线存在较大的光程差,由于采用的远心镜头景深有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。