技术编号:37001794
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超短脉冲激光精密加工,尤其涉及一种激光光斑分析装置,应用于μm量级小尺寸激光光斑检测分析中。背景技术、超短脉冲激光凭借其脉冲作用时间极短已成为一种精密微加工的重要技术手段,其聚焦光斑的能量分布与加工过程、加工质量等息息相关。市场上已有不少成熟的检测设备,可用于分析百微米到数毫米范围直径的激光准直光束和聚焦光斑。但由于光斑探测相机像元尺寸、检测像素数量和相机饱和功率密度等条件限制,对于μm量级的小尺寸光斑,现有方法和设备无法直接得到检测结果。、大多数现有技术手段是通过更换长焦...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。