技术编号:37054279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料制备设备,尤其是涉及一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备。背景技术、由于量子尺寸效应,不同尺寸的金属、氧化物纳米团簇具有不同的几何结构、电子性质等,可应用于不同的领域,实现不同的功能。为了明确某一尺寸的团簇的独特性质,了解团簇催化剂真正的活性中心,首先需要制备特定尺寸的团簇,可采用物理气相沉积法并通过调节制备参数来制备特定尺寸的团簇。、由于磁控溅射源与质量选择装置工作时所需要的气压不同,二者需要间隔一定的距离以实现工作环境的隔离,因此需通过传输装置将团簇束流从磁控溅射源输送...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。