技术编号:3706898
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,其制备方法及用其制成的光阻剂的制作方法本发明涉及一种作为使用于超短波光源如氟化氪或氟化氩的光阻剂的,其制备方法,及用其制成的光阻剂。更精确地说,本发明涉及一种光阻剂树脂,其中2,3-叔丁基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸酯单元己被引入一作为光阻的降冰片烯-顺丁烯二酸酐共聚结构中,其可用于使用被应用于1G或4G DRAM的预期光源的氟化氪(248nm)或氟化氩(193nm)光源的光刻方法中,本发明还涉及该光阻剂树脂的制备方法及包含该相同树脂的光阻剂。一般而言...
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