技术编号:37106559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空阀的性能检测,特别是指一种真空阀流导试验系统及试验方法。背景技术、真空阀常被用于真空系统中气体流量与压力的精确调节,是改变设备运行工况和抑制外界流体扰动的关键装置。、目前真空阀流导试验通常是使空气进行流体通过性的检测,该方法无法得知该阀门在实际使用的真空系统中的调节能力。技术实现思路、本发明要解决的技术问题是提供一种真空阀流导试验系统及试验方法,解决了无法有效模拟真空阀在实际真空环境下流体调节效果的问题。、为解决上述技术问题,本发明的技术方案如下:、第一方面,一种真空阀流...
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