技术编号:37114745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术实施例是关于集成电路,特别是关于具有底部介电绝缘体及鳍状物侧壁间隔物的集成电路。背景技术、对于包括智能手机、平板电脑、台式电脑、笔记本电脑及许多其他种类的电子装置在内的电子装置的计算能力具有持续的需求。集成电路为这些电子装置提供计算能力。一种提升集成电路中的计算能力的方法是增加所能够包括在半导体基板的给定区域中的晶体管及其他集成电路部件的数目。、纳米结构晶体管能够协助提升计算能力,因为纳米结构晶体管可以很小且相对于传统的晶体管能够具有改善的功能性。纳米结构晶体管可以包括多个半导体纳米结...
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