技术编号：37118287
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于将电磁辐射投影到、特别是利萨如投影到观察场的微型扫描器，以及一种配备这种微型扫描器的光束偏转系统，用于投影图像序列、特别是具有特定的恒定图像刷新频率的图像序列。背景技术、微型扫描器，在技术语言中特别地被称为“mems扫描器”、“mems镜”或“微型镜”，或者在英语中被特别地称为“微型扫描器”或“微型扫描镜”或“mems镜”，是微型机电系统(mems)，或者更准确地说是用于电磁辐射、特别是可见光的动态调制的微型镜致动器类型的微型光-电-机系统(moems)。根据结构，单个镜的调...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。