一种纳米结构可控的稀磁半导体材料及其制备方法与装置制造方法技术资料下载

技术编号:3712403

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本发明属于半导体纳米材料制备,公开了一种具有室温铁磁性、纳米结构可控的稀磁半导体材料及其制备方法与装置。该材料由以下方法制得将相同体积的醋酸锌、醋酸铜溶液分别置于双源超声雾化热解喷涂仪的两个盛液杯中,进行双源超声雾化热解喷涂,得到沉积于衬底上的纳米结构可控的稀磁半导体材料。本发明采用超声波来雾化前驱体,可获得更细小、均匀的雾气,且采用双源式雾化,不仅避免掺杂时溶液间的相互污染,同时易于控制组分结构,利于制备梯度膜或多层膜结构,通过对装置进行改进,制备得到不...
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