技术编号:3712932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备,包括机架、除尘回收装置和数控水冷却装置,在所述机架上设置有真空管,在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪,在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口,所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接,所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接,所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接,所述的旋...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。