技术编号:3713205
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明根据实施形态,提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。载物台具有载置涂敷对象物的载置面。喷嘴往载置在载物台上的涂敷对象物吐出液体。移动单元使喷嘴相对于载物台相对地移动。气体供给部提供气体。洗净液供给部提供洗净液。喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口,从气体供给口向喷嘴喷射从气体供给部提供来的气体,从洗净液供给口向喷嘴吐出从洗净液供给部提供来的洗净液。专利说明螺旋涂敷装置[0001]本发明申请基于2013年...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。