技术编号：37137607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及显示面板蒸镀，尤其涉及一种线源坩埚实时遮盖结构。背景技术、当前oled制备器件主要采用蒸镀的方式，通过加热装载在各型坩埚中的有机材料使其升华或气化后溢出坩埚，在沉积玻璃基板上遇冷凝结，形成所需要的功能膜层。、通常一个蒸镀腔室内会同时放置个或者多个坩埚进行加热使其内部材料升华或气化。之后会同时或者先后沉积在玻璃基板上。、需先后沉积时即需要将部分坩埚将其遮盖，待其中一种材料蒸镀完成后，在将其遮盖关闭后打开另外一种坩埚的遮盖板，以实现先后顺顺序的蒸镀。、现有的蒸镀设备切换坩埚挡板的...
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