在变化参数下具有稳定的性能的阵列波导光栅的制作方法技术资料下载

技术编号:37151074

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本公开涉及半导体光子器件,并且更具体地涉及硅基光子器件,诸如波导和解复用器器件。背景技术、例如,阵列波导光栅(arrayed waveguide grating,awg)是被配置为将不同的波长的光信号分离到多个路径中、或者组合不同的波长的光信号以经由相同的通信信道传输的器件。参考图,被配置为分离不同的波长的光信号的常规的阵列波导光栅器件包括输入耦合器(例如,星形耦合器)、输出耦合器和波导阵列,波导阵列被设置在输入耦合器与输出耦合器(例如,星形耦合器)...
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