技术编号：37151609
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于机械平面微运输领域，具体涉及一种气动式运输装置。背景技术、在微制造过程中，大量的微机电系统设备都会涉及针对微机器人或微芯片的运动或定位任务。目前大部分的微运输装置都采用接触式，非接触式的运输装置具有很大的应用前景。接触式主要有电热驱动与压电驱动，该类型主要是通过驱动器产生一个作用力来使工作平面产生应力应变或直接作用于被驱动物体发生位移。然而，这种接触式微运输装置依赖于工作表面的加工精度，其工作表面往往会出现磨损现象。此外，当装置处于变载荷运行时，会加剧其工作表面磨损，从而影响实际的运...
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