技术编号:37171654
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及保护性气体置换领域,具体是一种单晶炉炉内使用气回收工艺。背景技术、单晶炉是用于生产硅棒的机械设备,其是主要依靠直拉法来生长无错位单晶硅棒。、目前现有技术中,单晶炉内部需要处于惰性气体的环境中,在工作过程中,单晶炉副室需要开启,然后从内部取出单晶硅棒,单晶炉主副室使用的保护气多为氩气,单晶炉的主室和副室之间安装有密封机构,在副室开启前,需要关闭密封机构,以此将主室进行密封,在副室关闭后,工作人员再次向副室内置换空气,使其内部充满有氩气。、但是目前单晶炉主副室使用的保护气多为氩气,氩...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。