技术编号:37177812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及质检领域,更具体地,涉及一种氦检设备。背景技术、现有技术中的氦检设备主要包括支撑平台、位移组件、氦检上/下腔体组件和系统检测阀组件等,每一套腔体对应一件待检测工件,利用上下腔形成密闭腔室,真空泵进行对各腔室管路进行抽取真空,待各腔室达到一定的真空度时,进行一系列氦气流通封闭检测工作。、然而,现有技术中的氦检设备所能够检测的工件种类较少,针对一些轻薄类工件,在检测时容易将工件的表面压伤,或者使工件产生形变,导致工件因外观不良而报废。、因此,需要提供一种新的技术方案,以解决上述技术问...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。