技术编号：3721698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂的坩埚加热板，包括支撑板、隔热层、加热层、导热层和内衬层，隔热层设置在支撑板的上表面，加热板设置在隔热层的上表面，导热层设置在加热板的上表面，内衬层设置在导热层的上表面，加热层为电热膜，导热层由3?5层导热石墨膜组成，导热石墨层膜的层与层之间纵横方向交错设置，内衬层为导热硅胶垫。本实用新型的有益效果是相比镍洛电阻丝，使用的电热膜具有发热效率高、安装简单、维护方便、价格便宜等优点；导热石墨膜具有横向传热均匀、柔软适应性强等优点；...
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