技术编号：37220660
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体，尤其是涉及一种键合设备和键合设备的控制方法。背景技术、键合设备中的工作台是设备物料处理系统的结构，起到产品定位固定作用，其主要结构包括底部平台、压板压爪、载板，通过控制气动装置使压板打开与闭合实现框架固定，在更换治具或首次安装治具时需调节压板压爪位置以使压爪能准确压着指定位置。、现有技术中，压爪的调节方式为打开压板调节，由于压板打开状态时距离框架存在较高的高度差，此时调节压爪存在一定的位置误差，调节后再闭合压板，存在损伤芯片的风险。技术实现思路、本发明旨在至少解决现有技术...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。