技术编号：3722954
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种基板涂布设备，包括一第一XY轴向移动机构、一Z轴向旋转机构、一承载台、一喷头装置及一翻转机构。Z轴向旋转机构连接在第一XY轴向移动机构上并跟随第一XY轴向移动机构移动。喷头装置包含一Z轴向移动机构及安装在Z轴向移动机构的一喷头组件。喷头组件跟随Z轴向移动机构移动并对应凹槽配置。翻转机构包含一翻转台及连接翻转台的一驱动部。翻转机构连接Z轴向旋转机构并相对喷头组件设置，Z轴向旋转机构与承载台跟随翻转台翻转。借此，达到喷涂膜层品质优良及厚度均...
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