技术编号：37234452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将被空间性地调制后的光向基板照射而在基板得到希望的样式的已曝光区域的数字曝光装置。背景技术、作为在光刻工艺等中使用的曝光装置，已知有数字曝光装置。数字曝光装置是无掩模的曝光装置，是通过用dmd(digital mirror device)那样的空间光调制器将光空间性地调制而无掩模直接描绘样式来进行曝光的装置。另外，数字曝光装置也有时被用无掩模曝光装置、直绘式曝光装置等的名称称呼，但在该说明书中采用数字曝光装置的名称。、数字曝光装置很容易将照射的光的样式根据需要而适当变更，适合于多品...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。