技术编号：3727100
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过将结晶氧化物颗粒的细碎、稳定悬浮液通过涂敷施用于基材(如果需要的话将其加热)上、蒸发悬浮介质并高温烧结而涂敷基材的方法。将具有高介电常数的氧化材料如钛酸钡、钛酸锶、钡和锶的混合钛酸盐、钛酸锆铅或钽酸锶铋在微电子学中用作存储芯片的介电体或铁电体。如果在基材上的这些材料以结晶形式作为层厚为约100nm的膜施用，则它们作为介电体使用。为了生产膜，必须在300-1000℃下进行热处理。由Appl.Phys.(应用物理)A 69(1999)，55-...
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